器件教學套件和工藝教學套件為用戶提供了一個學習7nm工業級“數據”的機會,而在當前高校教育中,還有一個問題,就是需要學生熟悉真實的工業“場景”,場景+數據的模式,讓同學能夠“知其然,知其所以然”,為此,我們建立了一個7nm集成電路虛擬現實(VR)實驗室,重現真實的工業“場景”
該套件包含如下內容
1.工業級先進集成電路制造設備:如300毫米(12英寸)半自動探針臺、EUV光刻機等。
2.工業級先進設備使用過程模擬:包括裝晶圓、扎探針、工藝線操作、封裝線操作等操作過程。
3.先進工藝線全流程模擬:學生猶如置身于一個真實的工藝線中。
4.先進封裝線全流程模擬:學生猶如置身于一個真實的快封線中。
5.先進測試線全流程模擬:學生猶如置身于一個真實的測試線中。